台达晶圆分选机具备多功能模块、一机多尺寸切换共用等特色。可根据客户需求及使用环境设计机台，内部传输系统可分为皮带式、手臂式(边缘夹取式或真空式)，弹性应对各无尘室等级及晶圆表面洁净度的要求。 因应不同量测需求，共有 8 个功能模组可做搭配选择，高弹性化的模块设计可满足客户多元的检测需求。 型号： SWST-600-0456-CC-0609 SWST-600-0608-CC-0609 SWSST-120CC-12
弹性选配检测专案模块，最多可增加 8 个模块： 表面瑕疵、侧面瑕疵、IR 孔洞检测、OCR、平坦度、阻值、边缘轮廓量测、PN 量测
智慧优势
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